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設計技術シリーズ

電気機器の静電気対策

監修: 水野 彰氏(静電気学会 会長)
価格: 3,300円(本体)+税
判型: A5
ページ数: 203 ページ
ISBN: 978-4-904774-37-3
発売日: 2015/10/27

【監修者紹介】

水野 彰(みずの あきら)
豊橋技術科学大学 環境・生命工学系
1978 年東京大学大学院工学系研究科博士課程修了。その後石川島播磨重工業(株)を経て豊橋技術科学大学講師、現在教授。専門は静電気応用工学。静電気学会(会長)、電気学会、応用物理学会、IEEE など。
監修者より:
静電気はEMC、静電気障災害の原因となるが、一方で、現在多くの技術がブラックボックス化する中、静電気やプラズマは現象が目で見え、かつ美しいという大きな特徴がある。エネルギー・環境・バイオ・材料など非常に多くの分野へ応用できる可能性が広がっている研究対象なので、静電気障災害の制御とともに、良い面にも着目して伸ばしていただける技術者が増えることを願っている。

【著者紹介】

小田 哲治(おだ てつじ) 第1章
東京大学名誉教授
昭和46年東京大学工学部電気工学科卒業、昭和51年東京大学大学院工学系研究科電子工学専攻修了 (工学博士)。昭和51年東京大学工学部常勤講師、平成4年東京大学工学部教授、平成25年東京大学定年退職、東京大学名誉教授。大学院では、半導体表面物性の研究に従事。任官後は、静電気の基礎と応用、磁気応用、大気圧プラズマの研究に従事。静電気学会元会長、IEEEフェロー、安全学教育研究会会長ほか。
大津 孝佳(おおつ たかよし) 第2章
沼津工業高等専門学校電気電子工学科
1985年山梨大学大学院工学研究科電気工学専攻修了、1985年 (株) 日立製作所入社、1997年慶応義塾大学博士 (工学) 授与。2003年 (株) 日立グローバルストレージテクノロジーズ、2010年鈴鹿工業高等専門学校教授を経て、2015年沼津工業高等専門学校教授。電子デバイスの静電気放電破壊対策技術の研究、大気圧プラズマ応用の研究に従事。静電気学会、電気学会、日本磁気学会、日本TRIZ協会、IDEMA JAPAN、(米) ESD Association各会員。
早田 裕(そうだ ゆたか) 第3章
プローブテック
1974年東北大学理学部物理学科卒。同年、ソニー (株) 入社。磁気記録と静電気破壊に関する研究に従事。2010年、東京大学より工学博士号を授与。2010年、東京大学特任研究員。2013年、放電電流測定器の開発製造を行う、プローブテックを設立。静電気学会、IEEE各会員。
高橋 克幸(たかはし かつゆき) 第4章
シシド静電気株式会社
鈴木 輝夫(すずき てるお) 第5章
春日電機株式会社
1979年春日電機 (株)、1993年 (社) 産業安全技術協会検定部、1995年春日電機 (株)営業技術課、1997年大阪府立大学工学部化学工学科研修員、2000年大阪府立大学より学位 (工学) 取得。2011年7月春日電機 (株) 営業技術課次長、現在に至る。静電気学会、電気学会、粉体工学会、安全工学協会各会員、主任ESDコーディネータ。
上原 利夫(うえはら としお) 第6章
トレック・ジャパン株式会社/Trek, Inc.
日本大学理工学部電気工学科卒業。2000年トレック・ジャパン (株) 社長就任。2006年米国 Trek, Inc. CEO就任。日本大学理工学部との共同研究で微小表面の静電気像可視化の研究に従事。2002年静電気学会会長賞受賞。2005年日本画像学会会長特賞受賞。2012年静電気力顕微鏡の研究にて静電気学会進歩賞を日本大学と共同受賞。2013年度日本画像学会フェロー。専門は静電気計測。日本画像学会、静電気学会、米国Image Science & Technology各会員。
鈴木 政典(すずき まさのり) 第7章
株式会社 テクノ菱和 技術開発研究所
1984年名古屋大学大学院工学研究科博士前期課程修了、同年 (株) テクノ菱和技術開発研究所入社。2002年、在職のまま、豊橋技術科学大学大学院工学研究科博士後期課程入学。2005年修了、博士 (工学)。専門は、クリーンルームにおける静電気対策、クリーンルーム用イオナイザー。静電気学会、日本空気清浄協会、空気調和・衛生工学会、化学工学会各会員。
吉田 孝博(よしだ たかひろ) 第8章
東京理科大学工学部第二部電気工学科
1999年東京理科大学工学部第一部電気工学科卒業。2004年同大学大学院博士課程修了、博士 (工学)。同大学工学部第二部電気工学科助手、助教を経て、2012年より同大学講師。静電気放電、電気音響、ディジタル信号処理、バイオメトリクスなどに関する研究に従事。静電気学会、電子情報通信学会、電気学会、情報処理学会、映像情報メディア学会、日本音響学会、IEEE、AES、各会員。
山野 芳昭(やまの よしあき) 第9章
千葉大学教育学部
1976年東京農工大学大学院工学研究科修了、同年東洋紡績 (株) 入社。1980年東京農工大学工学部助手、1987年工学博士 (東京工業大学)、1990年千葉大学教育学部講師、1997年同教授、現在に至る。静電気工学、電気・電子絶縁工学、技術教育等に関する研究に従事。静電気学会、電気学会、IEEE会員。

【目次】

第1章 帯電・静電気放電の基礎

  1. 1.はじめに
  2. 2.静電気基礎現象
    1. 2-1 電荷とクーロン力
    2. 2-2 分極力
  3. 3.帯電現象(含む静電気放電)
    1. 3-1 帯電現象の概要
    2. 3-2 電荷分離
    3. 3-3 現実の帯電
    4. 3-4 背向電極の重要性
  4. 4.静電気測定
    1. 4-1 電荷量の測定
    2. 4-2 電位測定
    3. 4-3 電界測定
    4. 4-4 電流測定
    5. 4-5 高抵抗測定
    6. 4-6 表面電位分布計測
    7. 4-7 究極の電荷測定
  5. 5.電荷挙動解析
    1. 5-1 TSDC
    2. 5-2 レーザ圧力波法による空間電荷分布測定
  6. 6.静電気放電
  7. 7.まとめ

第2章 電子デバイスの静電気対策の動向と静電気学会での取り組み

  1. 1.はじめに
  2. 2.ESD/EOS Symposium for Factory Issues 概要
  3. 3.シンポジウム
    1. 3-1 業界別講演者
    2. 3-2 講演技術内容
  4. 4.ESD/EOS Symposium for Factory Issues トピックス
    1. 4-1 電子デバイスの静電気対策
    2. 4-2 静電気対策技術
    3. 4-3 EMI/EOS問題
  5. 5.ワークショップ
  6. 6.展示会
  7. 7.今後の日本での取り組み
    1. 7-1 静電気学会静電気電子デバイス研究委員会の目的・内容
    2. 7-2 活動状況
  8. 8.まとめ

第3章 静電気放電と電子デバイスの破壊現象

  1. 1.はじめに
  2. 2.磁気デバイスの静電気破壊の特徴
  3. 3.GND放電と浮遊物体間放電
    1. 3-1 GND放電のモデル
    2. 3-2 浮遊物体間の放電モデル
  4. 4.容量間の放電実験
    1. 4-1 2物体の容量と電流波形
    2. 4-2 2物体容量と電流ピーク値の関係
    3. 4-3 2物体容量と放電エネルギーの関係
  5. 5.接触抵抗と変化要因
  6. 6.物体の容量変化と電位
  7. 7.デバイスの静電気破壊モデル

第4章 静電気対策技術としてのイオナイザの選定とその使用方法

  1. 1.静電気放電の発生と防止対策について
  2. 2.イオナイザの分類
  3. 3.コロナ放電型・電圧印加方式イオナイザ
    1. 3-1 電圧方式の分類
    2. 3-2 無風・微風時の除電能力
    3. 3-3 除電対象物の電位変動
    4. 3-4 送風時の除電能力
    5. 3-5 除電性能の経時変化とメンテナンスについて
    6. 3-6 イオナイザの選定
  4. 4.イオナイザの設置方法について
  5. 5.まとめ

第5章 半導体デバイスの静電気放電対策

  1. 1.はじめに
  2. 2.放電現象の概要
    1. 2-1 放電の発生条件
      1. 2-1-1 等電位である異なる直径の2つの導体球の放電開始電界強度
      2. 2-1-2 電極間距離が異なる平行平板電極間の放電開始電圧
      3. 2-1-3 放電電極形状が異なる場合
      4. 2-1-4 物体表面の最大電荷密度
      5. 2-1-5 パッシェン則について
    2. 2-2 放電エネルギーWについて
      1. 2-2-1 火花放電の放電エネルギー
      2. 2-2-2 火花放電以外の放電エネルギー
    3. 2-3 静電気放電の種類と概要
      1. 2-3-1 火花放電:金属-金属間放電
      2. 2-3-2 コロナ放電:電界が強い尖端近傍の局所放電
      3. 2-3-3 ブラシ放電:曲率が小さい導体から絶縁物へのストリーマが進展した放電
      4. 2-3-4 沿面放電:背面設置体がある帯電物体と曲率が小さい導体間の放電
      5. 2-3-5 雷状放電:空間電荷雲内で発生する放電
      6. 2-3-6 コーン放電:堆積した粉体表面を走る放電
      7. 2-3-7 剥離放電
  3. 3.デバイスの静電気放電対策
    1. 3-1 放電現象からのデバイスの破壊現象について
    2. 3-2 基本的な静電気放電対策の考え方
      1. 3-2-1 静電気の緩和現象
    3. 3-3 その他の静電気放電防止の留意点
  4. 4.まとめ

第6章 新しい静電気表面電位測定技術とその応用例

  1. 1.はじめに
  2. 2.静電気測定器
    1. 2-1 ファラデーケージ
    2. 2-2 トナー帯電量測定装置(Q/mメーター)
    3. 2-3 任意の粉体の帯電量測定装置
    4. 2-4 静電電圧計
    5. 2-5 静電電界計
    6. 2-6 表面電位計
    7. 2-7 超高入力インピーダンス回路を有する表面電位計(Ultra Hi-Z ESVM)
      1. 2-7-1 Ultra Hi-Z ESVM応用例1-宇宙空間で衛星の帯電測定
      2. 2-7-2 Ultra Hi-Z ESVM応用例2-半導体ウエハの帯電測定
    8. 2-8 静電気力顕微鏡(Electrostatic Force Microscope)
  3. 3.まとめ

第7章 液晶パネル及び半導体デバイス製造における静電気対策

  1. 1.はじめに
  2. 2.半導体デバイス等の清浄な製造環境における静電気障害
    1. 2-1 浮遊微粒子汚染
    2. 2-2 静電破壊
  3. 3.清浄環境における静電気対策の方法
    1. 3-1 シースエア式低発塵イオナイザー(コロナ放電式)
    2. 3-2 イオン化気流放出型イオナイザー(微弱X線照射式)
      1. 3-2-1 液晶カセット用イオン化気流放出型イオナイザー
      2. 3-2-2 チャンバー型無発塵イオナイザー
      3. 3-2-3 静電気対策用層流吹出口
      4. 3-2-4 防爆型無発塵イオナイザー
  4. 4.おわりに

第8章 帯電した人体からの静電気放電で発生する放電電流

  1. 1.はじめに
  2. 2.放電開始ギャップ長と放電電流波形
    1. 2-1 放電開始ギャップ長
    2. 2-2 放電開始電界強度の分布
    3. 2-3 放電電流波形形状の出現傾向
    4. 2-4 放電開始ギャップ長と放電電流波形形状
  3. 3.初回の放電で放出される電荷量
  4. 4.人体の静電容量による影響
    1. 4-1 人体の静電容量
    2. 4-2 静電容量による影響
  5. 5.指先の皮膚抵抗による影響
  6. 6.人体の接近速度による影響
  7. 7.放電先の電極形状による影響
    1. 7-1 人体の指先からの放電
    2. 7-2 人体が握った金属からの放電
    3. 7-3 放電極性による傾向の違い
  8. 8.静電気試験器や金属間放電との相対比較
  9. 9.人体からの放電の放電源モデル
  10. 10.まとめ

第9章 マイクロギャップ放電特性とESD対策

  1. 1.はじめに
  2. 2.ESDのメカニズムと特徴
    1. 2-1 タウンゼント型放電機構とパッシェンの法則
    2. 2-2 ESDの特徴
  3. 3.モデル実験によるESDによる絶縁破壊特性の紹介
    1. 3-1 モデル実験に使用した電極構成と取り扱うギャップ長の範囲
    2. 3-2 BDVの測定方法および絶縁破壊前駆電流の観測
    3. 3-3 BDVとギャップ長との関係
    4. 3-4 絶縁破壊に至るまでに流れる電流
    5. 3-5 0.5μm≤d≤2μmの領域の絶縁破壊機構と絶縁破壊の抑制
  4. 4.まとめ

【参考文献】

  • H.Tian and J.K.Lee: IEEE Trans. Magn., Vol.31, No.5, 2624, 1995.
  • A.Wallash: IEEE Trans. Magn., Vol.33, No.5, 2911, 1997.
  • Lam C., Salhi E., and Chim S.: EOS-19 , 386 , 1997.
  • A. Wallash and Y.K.Kim: IEEE Trans. Magn., Vol.34, No.4, 1519, 1998.
  • M. Takahashi, T. Maeda, M. Sakai, H. Morita, and M. Matsuzaki: IEEE Trans. Magn., Vol.34, No.4, 1522, 1998.
  • Chung F.Lam, Caleb Chang, and Rahmat Karimi: EOS/ESD Symposium Proceedings, EOS-20, 360, 1998.
  • A. Wallash: EOS/ESD Symposium Proceedings, EOS-22, 349, 2000.
  • Yong Shen, RingoLeung, and Jennifer ZF Sun: EOS/ESD Symposium Proceedings, EOS-22, 355, 2000.
  • Takayoshi Ohtsu, Hitoshi Yoshida and Noriaki Hatanaka: EOS/ESD Symposium Proceedings, EOS-23, 173, 2001.
  • Takehiko Hamaguchi, Takayuki Ichihara and Takayoshi Ohtsu: EOS/ESD Symposium Proceedings, EOS-24, 119, 2002.
  • Chris Moore and Albert Wallash: EOS/ESD Symposium Proceedings, EOS-21, 309, 1999.
  • A.Wallash: IDEMA Symp.,1998.
  • A. Wallash and M. Honda: EOS/ESD Proceedings,EOS-19,pp.382-385, 1997.
  • M. Honda and Y. Nakamura: EOS/ESD Proceedings, EOS-9, pp.96-103, 1987.
  • Akira Morinaga, Chiaki Ishikawa, Takayoshi Ohtsu, Norifumi Miyamoto and Shinji Narishige: IEEE Trans. Magn., Vol.38, No.5, 2262, 2000.
  • Takayoshi Ohtsu: "Study on ESD/EMI Phenomena for Magnetic Reproducing Head", IEEJ Trans.FM, Vol.130 , No5, 473-478, 2010.
  • Takayoshi Ohtsu: "Study on ESD Phenomena of Magnetic Head by 1ns Pulse ESD", APEMC, Beijing, China , 2010.
  • Ken Kawamata et al: "Influence of the Surface Condition of Electrodes on Radiated EM Field Intensity due to Micro Gap Discharge", APEMC , Beijing, China, 2010.
  • Takahiro Yoshida et al: "Effect of the Shapes of Metal Electrodes on ESD Current and Radiation Noise" APEMC, Beijing, China, 2010.
  • Takayoshi Ohtsu : "Complexity of damage induced by ESD of GMR head" , IMCIC 2011 , The 2nd International Multi-Conference on. Complexity, Informatics and Cybernetics, Orlando, Florida, USA, 2011.
  • Takayoshi Ohtsu :"Characteristic of Radiated Electromagnetic wave by ON/OFF discharge on Sub- micron gap", APEMC ( ASIA-PACIFIC EMC WEEK),2010 Asia-Pacific International Symposium on Electromagnetic Compatibility, Jeju, Korea, 2011.
  • Takayoshi Ohtsu :"Reduction of Coupled Voltage of Power Cable with Electro-static Countermeasure", EOS/ESD Symposium for Factory Issues2012, ESD Association, Singapore, 2012.
  • Takayoshi Ohtsu :"Observation of Electromagnetic wave in a HDD enclosure by ESD injection", APEMC(ASIA-PACIFIC EMC WEEK),2012 Asia-Pacific International Symposium on Electromagnetic Compatibility, Singapore, 2012.
  • Wallash, A.J. : "Electrostatic modeling and ESD damage of magnetoresistive sensors," Magnetics, IEEE Transactions on vol.32, Issue 1, pp.49-53, Jan. 1996
  • Wallash, A.; Kim, Y.K. : "Magnetic changes in GMR heads caused by electrostatic discharge," Magnetics, IEEE Transactions on vol.34, Issue 4, Part 1, pp.1519-1521, July 1998
  • Moore, C.; Wallash, A. : "ESD testing of GMR heads as a function of temperature," Electrical Overstress/Electrostatic Discharge Symposium Proceedings 1999, pp.309-314, 28-30 Sept. 1999
  • Eunkyu Jang : "Resistance measurement of GMR heads as a magnetic performance indicator," Magnetics, IEEE Transactions on vol.37, Issue 4, Part 1, pp.1713-1715, July 2001
  • Liu, F.; Chang, C.H.; Shen, J.; Pant, B.B. : "Characteristics of Electrostatic Discharge Induced Damage on Magnetic Tunnel Junctions," Magnetics, IEEE Transactions on vol.42, Issue 10, pp.2447-2449, Oct. 2006
  • Oda, T.; Miyasaka, H.; Ono, R. : "Basic Research on Low Voltage Electrostatic Discharge Phenomena," Industry Applications Society Annual Meeting, 2008. IAS '08. IEEE
  • Oda, T. ; Miyasaka, H. ; Ono, Y. ; Ono, R. : "The Low Voltage Electrostatic Discharge on the Contacting Point", Industry Applications Society Annual Meeting, 2009. IAS 2009. IEEE
  • Y. Soda : "Discharge Current From Coated Wire to GMR Head," Industry Applications, IEEE Transactions on vol.43, Issue 1, pp.219-223, Jan.-feb. 2007
  • William D. Greason : "ESD Characteristics of a Generalized Two Body System Including a Ground Plane", IEEE Trans. on Industry Applications, Vol.27, No.3, pp.471-479, May/June 1991
  • Soda, Y. ; Oda, T.: "Characterization of Contact Discharge Between Small-Capacitance Devices", Industry Applications, IEEE Transactions on Volume: 48, Issue 4, pp.1189-1194, 2012
  • 早田裕,小田哲治:「接触放電における容量依存性の検討」,静電気学会全国大会2010年,14pD-4
  • 早田裕,小田哲治:「接触放電におけるエネルギー移動量と接触抵抗の関係」,静電気学会全国大会2011年,12aD-5
  • 小田哲治:「帯電・静電気放電の基礎」,電磁環境工学情報EMC,No.314,pp.115-133,2014年
  • 廣瀬元,吉田孝博,増井典明:「各種放電源からの静電気放電の等価回路の定数決定放」,静電気学会誌,Vol.36,pp.14-19,2012年
  • 藤江明雄:「ESD/誘導ノイズによる電子デバイスの障害-LSIのESD耐性強化を支援する背景知識-」,静電気学会誌,Vol.36,No.5,pp.256-261,2012年
  • 本田真實:「先端電子システムにおけるESD感受性について」,静電気学会誌,Vol.36,No.5,pp.268-271,2012年
  • 殿谷保雄:「製造工程・物別の帯電現象と正しい測定方法及び静電気対策」,帯電の測定方法と静電気障害対策,pp. 189-207,サイエンス&テクノロジー出版,2008年
  • 村田雄司監修:「除電装置と除電技術」,シーエムシー出版,2004年
  • 児玉勉,山隈瑞樹,鈴木輝男,最上智史:「空気輸送粉体用自己放電式除電器の開発」,産業安全研究報告,pp. 81- 90,2005年
  • 平田安奈,岡野一雄:「ACコロナ放電型イオナイザのイオン輸送効率」,静電気学会誌,Vol.38,No.3,pp.135-138,2014年
  • 清水渡,永田秀海,和泉健吉,児玉勉:「高周波コロナ放電式ノズル型イオナイザの除電特性」,静電気学会誌,Vol.29,pp. 62-67,2005年
  • A. Ohsawa: Modeling of charge neutralization by ionizer. J. Electrostat., Vol. 63, pp. 767-773, 2005
  • 並木則和:「クリーンルーム環境における静電気対策と粒子汚染機構に関する研究」,粉体工学学会誌,Vol.34,pp.44-46,1997年
  • 高橋克幸,日吉功,榎本洋介,永田秀海:「PWM制御小型交流高圧電源を用いた除電装置の開発」,静電気学会誌,Vol. 38,No.3,pp.124-129,2014年
  • 『静電気安全指針2007』,労働安全衛生総合研究所技術指針,JNIOSH-TR-No.42,産業安全技術協会,2007年
  • B. Maurer, M. Glor, G. Lüttgens and L. Post : "Hazards associated with propagating brush discharge on flexible intermediate bulk containers, compounds and coated materials", Electrostatics 1987, Inst. Phys. Conf. Ser., No. 85, p.226, 1987.
  • M. Glor, "Electrostatic Hazards in Powder Handling", Research studies press, Letchworth, 1988.
  • 児玉勉,鈴木輝夫,西村浩次郎:「空気輸送粉体サイロにおける静電気放電の観測」,静電気学会講演論文集'99,pp.315-316,1999年
  • M. Glor and K. Schwenzfeuer : "Occurrence of cone discharges in production silos", J. Electrostatics, 40&41, pp.511-516, 1997.
  • 山野芳昭:「大気中マイクロギャップ放電の絶縁破壊特性」,静電気学会誌,36,3,pp.146-151,2012年
  • 板谷雅彦編:電子写真プロセス技術,pp.11-12,トリケップス
  • 有限会社IMPカタログ
  • 新版静電気ハンドブック,静電気学会編,p.419
  • http://www.kyutech.ac.jp/information/satellite/
  • "On-orbit Potential Measurement of H-II Transfer Vehicle", Teppei Okumura, JAXA, Mengu Cho, Kyushu Institute of technology et. al.
  • "Wafer backside potential measurement by Trek-3G (ESVM) under in Electron environment", Arifur Khan, Kyushu Institute of Technology
  • http://probe.olympus-global.com/jp/product/omcl_ac160ts_r3/
  • 佐藤,東尾,高橋,中川,上原他:「静電気力顕 微鏡を用いた半導体表面電位測定による不純物濃 度分布評価」,pp.255-258,Imaging Conference Japan 2014
  • US Patent 6,337,478 B1, Uehara, Itoh, Nakagawa, et, al.
  • ITRS 2007Edition, Yield Enhancement
  • R.Wilson: Proceeding of 33rd Annual Technical Meeting of the IES, May,p.466, (1987)
  • B.Y.H.Liu, B.Fardi, K.H.Ahn: Proceeding of 33rd Annual Technical Meeting of the IES, May, p.461, (1987)
  • 藤井修二,謝国平,金光映:第7回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集,p.17, (1988)
  • 阪田総一郎,岡田孝夫:第7回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集,p.21, (1988)
  • 江見:'88クリーンテクノロジーシンポジウム予稿集,p.3-1-1,(1988)
  • 鈴木政典,山路幸郎:空気清浄,26 (1989.5) 48
  • 鈴木政典,和泉貴晴,鋒治幸,石川昌義:クリーンテクノロジー, 10(1992.6) 18
  • 鈴木政典:クリーンテクノロジー, 2 (1992.1) 31
  • 鈴木政典,佐藤朋且,鋒治幸,石川昌義:月刊ディスプレー6 (2000.11) 39
  • 本田昌實, "先端電子システムにおけるESD感受性について", 静電気学会誌, Vol. 36, No. 5, pp. 268-271, 2012
  • IEC, "IEC 61000 Ed. 1.2: Electromagnetic compatibility (EMC) Part 4-2 Electrostatic discharge immunity test", IEC (International Electrotechnical Commission) , 2001
  • 増井典明, "静電気基礎", 月刊EMC, No. 247, pp.21-31, 科学情報出版, 2008
  • 増井典明,"帯電した人体からの放電特性", 静電気学会誌, Vol. 31, No. 6, pp. 236-241, 2007
  • 静電気学会, "静電気ハンドブック", オーム社, 1998
  • 大木正路, "高電圧工学", 槇書店
  • 中原陽之介, 吉原宏, "指先‐接地金属間の放電形態と放電電流波形の関係", 平成19年度増井研究室卒業論文, 2008
  • 吉原宏, 吉田孝博, 増井典明, "人体からの静電気放電に及ぼす接地電極形状の影響(III)", 静電気学会誌, Vol. 34, No. 1, pp.37-43, 2010
  • 小村淳己, 吉田孝博, 増井典明, "各種放電源からの ESD特性の比較", 静電気学会誌, Vol. 36, No. 1, pp.8-13, 2012
  • 小村淳己, 吉原宏, 吉田孝博, 増井典明, "人体の静電容量が静電気放電に及ぼす影響", 静電気学 会春期講演会, 1a-5, pp.17-20, 2010
  • 浅間陽一, "人体の静電容量及び皮膚抵抗が人体からの静電気放電特性に及ぼす影響", 平成22年度増井研究室卒業論文, 2011
  • 小村淳己, "各種放電源からの静電気放電特性", 平成23年度増井研究室修士論文, 2012
  • 小村淳己, 島田裕輔, 松本敦, "人体の静電容量および皮膚抵抗が静電気放電に与える影響", 平成21年度増井研究室卒業論文, 2010
  • 吉原宏, 小村淳己, 林宏賢, 吉田孝博, 増井典明, "帯電した人体の皮膚抵抗が静電気放電に与える影響", 静電気学会春期講演会, 1a-6, pp.21-24, 2010
  • 團野貴之,"帯電した人体と接地金属間の接近速度がESD特性に及ぼす影響",平成23年度増井研究室卒業論文, 2012
  • 吉原宏,吉田孝博,増井典明,"人体からの静電気放電に及ぼす接地電極形状の影響(Ⅱ)", 静電気学会誌, Vol. 33, No. 1, pp.2-7, 2009
  • 小村淳己,吉田孝博,増井典明, "帯電した人体が握った金属ツールからの静電気放電に及ぼす電極形状の影響",静電気学会全国大会, 14pD-2, pp. 119-124, 2010
  • 片岡忠史,澤井丈徳,増井典明,,静電気学会誌, "帯電した人体からの放電電流波形", Vol. 28, No. 6, pp. 310-315, 2004
  • 廣瀬元,吉田孝博,増井典明, "各種放電源からの静電気放電の等価回路の定数決定法",静電気学会誌, Vol. 36, No. 1, pp.14-19, 2012
  • 小村淳己,吉田孝博,増井典明, "接地抵抗が帯電した人体からの静電気放電に及ぼす影響",,静電気学会春期講演会, 2p-7, pp. 95-98, 2011
  • 吉田孝博,増井典明, "帯電体 (人体・金属) からの静電気放電で発生する放電電流と電磁ノイズについて",電気学会全国大会,シンポジウムS2-4, 2014
  • 河崎健太郎,田中一壮,吉田孝博,増井典明, "金属間放電及び人体・金属間放電における放射電磁ノイズの影響",静電気学会春期講演会, 2a-3, pp.55-58, 2008
  • 吉田孝博,久保田啓吾,澤井丈徳,増井典明, "帯電した人体からの放電電流波形の時間-周波数解析",静電気学会誌,第31巻,第3号, pp.113-118, 2007
  • R. M. Schaffert "Charge transport mechanisms in the transfer of latent electrostatic images to dielectric surfaces", IBM JOURNAL, April, pp.192-196, (1962)
  • P.G.Slade and E.D.Taylor: "Electrical breakdown in atmospheric air between closely spaced (0.2µm-40µm) electrical contacts," IEEE Tans. on Component and Packaging Tech, vol. 25, no.3, pp. 390-396 (2002)
  • P. Osmokrovic and I. Krivokapic "Mechanism of electrical breakdown left of Paschen minimum",IEEE Tans. on Dielectric and Insulating Material, vol.1, no.1, pp.77-81 (1994)
  • J.M. Torres and R.S. Dhariwal: "Electric field breakdown at micrometer separations in air and vacuum,". Proceedings of Microsystem Technologies, vol.6, pp. 6-10, (1999)
  • T. Ono, D. Y. Sim and M. Esashi, "Micro-discharge and Electric Breakdown in a Micro-gap"J.Micromech.Microeng.. 10. 445-451 (2000)
  • R. S. Dhariwal, J. M. Torres, and M. P. Y. Desmulliez, "Electric field breakdown at micrometre separations in air and nitrogen at atmospheric pressure", IEE Proc. Sci. Meas. Technol. 147 (5), 261-265 (2000)
  • たとえば、大木:高電圧工学,槇書店, (1982).
  • Y.Yamano "Sparks in a Small Gap between HV Spherical Metal Electrode and Corona-charged Organic Film", IEEE Trans. On Dielectrics and Electrical Insulation, Vol.1, No.2, pp.503-508 (1994)
  • 山野,"大気中マイクロギャップの絶縁破壊特性"静電気学会誌、vol.36, no.3, pp.146-151(2012)
  • Prinz(増田、河野訳):電界計算法,朝倉書店(1975)
  • A. R. H. Fowler and L. Nordhei, "Electron Emission in Intense Electric Fields", Proc. R. Soc. Lond. A, vol. 119, pp. 173-181, (1928)

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